Awtomatiki temperatura we çyglylyga gözegçilik
Arassa otagyň temperaturasy we çyglylygy esasan amal talaplaryna laýyklykda kesgitlenýär, ýöne amal talaplary ýerine ýetirilen ýagdaýynda adamyň rahatlygy göz öňünde tutulmalydyr.Howanyň arassalygy talaplarynyň ýokarlanmagy bilen, prosesiň temperatura we çyglylyga has berk talaplary bar.
Işlemegiň takyklygy has ýitileşýärkä, temperaturanyň üýtgemegine bolan talaplar barha kiçelýär.Mysal üçin, uly göwrümli integral zynjyr önümçiliginiň daşbasma täsir ediş prosesinde, diafragmanyň materialy hökmünde aýna bilen kremniniň wafliniň ýylylyk giňelme koeffisiýentiniň arasyndaky tapawut kiçi we kiçi bolmaly.Diametri 100μm bolan kremniý wafli, temperatura 1 dereje ýokarlananda 0,24μm çyzykly giňelmegine sebäp bolar.Şonuň üçin hemişelik temperatura ± 0,1 dereje bolmaly.Şol bir wagtyň özünde çyglylygyň pes bolmagy talap edilýär, sebäbi adam derlenenden soň önüm hapalanar, esasanam natriýden gorkýan ýarymgeçiriji ussahanalar üçin bu hili arassa ussahana 25 derejeden ýokary bolmaly däldir.
Artykmaç çyglylyk has köp problema döredýär.Otnositel çyglylyk 55% -den geçende, sowadyjy suw turbasynyň diwarynda kondensasiýa ýüze çykar.Takyk enjamda ýa-da zynjyrda ýüze çyksa, dürli heläkçiliklere sebäp bolar.Otnositel çyglylyk 50% bolanda poslamak aňsat.Mundan başga-da, çyglylyk aşa ýokary bolanda, kremniniň wafli üstündäki tozan howadaky suw molekulalary tarapyndan himiki taýdan adsorizasiýa ediler, ony aýyrmak kyn.Deňeşdirilen çyglylyk näçe ýokary bolsa, ýelimi aýyrmak şonça-da kyn, ýöne otnositel çyglylyk 30% -den pes bolanda, bölejikler hem elektrostatik güýjüň we köp sanly ýarymgeçirijiniň kömegi bilen aňsatlyk bilen ýerleşdirilýär. enjamlar ýykylmaga ýykgyn edýär.Silikon wafli öndürmek üçin iň oňat temperatura diapazony 35 ~ 45%.
